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槽式湿法刻蚀清洗设备

简要描述:v应用领域:RCA清洗

基础信息

产品型号

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代理商

更新时间

2024-10-22

浏览次数

64
详细介绍

v 应用领域:RCA清洗,湿法去胶,介质层湿法刻蚀,金属层湿法刻蚀,炉管前清洗等

v 晶圆尺寸:100mm~300mm

v 设备配置:

Ø 支持化学液C.C.S.S.L.C.S.S

Ø Marangoni dry spin dry

Ø 自动换酸,自动补液、配液

Ø 加热控制,浓度控制,流量控制,压力控制等

Ø 槽体过温保护,各单元配置漏液传感器

Ø 支持化学液回收

Ø 全面支持SECS/GEM通讯协议

v 工艺指标:蚀刻非均匀性片内:4%;片间:≤4%;批次间: ≤4%

v 颗粒控制:增加值<30@0.09μm(带氧化硅膜测试,来料颗粒<50颗)

v 金属离子:<5E9 atoms/cm2


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