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v 应用范围:对重掺杂碳化硅(SiC)表面沉积的过渡金属进行退火,形成良好的欧姆接触
v 加工尺寸:4inch、6inch
v 加工速度:1000mm/s
v 加工精度:±1μm
v 平台参数:行程300mm×300mm
v 重复定位精度:±0.001mm
v 激光器参数:紫外
v 稼动率:98%以上
v 重大故障间隙时间:>1000H
v 良率:≥99.5%
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