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一、产品介绍
CIF 扫描电镜（SEM）等离子清洗机采用远程等离子清洗源设计，清洗快速、高效、低轰击损伤，主要用于SEM或FIB等电镜腔体内碳氢化合物的清洗。
二、产品特点
u 远程等离子清洗源
u 清洗快速、高效
u 低轰击损伤
三、技术参数
产品型号 | CIF-SEM |
法兰接口 | KF40（CF40） |
工作气压 | 0.3-3Pa |
等离子电源 | 13.56MHz射频电源，射频功率5-150W可调， |
远程等离子源，自动匹配器 | |
气体控制 | 标配单路质量流量计（MFC）可选双路。50毫升/分，自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响 |
气源选择 | 根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择 |
真空控制 | 皮拉尼真空计，测量范围1E-5Torr |
真空保证 | 真空计和电磁阀安全互锁 |
操控方式 | 7寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面 |
电源/功率 | 220V，50/60Hz，300W |
可选配件 | 可选氧气、氮气、氢气发生器， 氢气纯度﹥99.999％，输出流量0-300ml/min |
质量保证 | 二年质保，终身维护 |
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