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CIF推出VGB-P系列手套箱专用等离子清洗设备,优化的腔体结构及合理的结构设计更适合手套箱内使用。安装简单方便,性能稳定,实用性强,容易维护。
二、产品特点
u 7寸彩色触摸屏互动操作界面,图形化用户操作界面显示,自动监测工艺参数状态,20个配方程序,可存储、输出、追溯工艺数据,机器运行、停止提示。
u PLC工控机控制整个清洗过程,手动、自动两种工作模式。
u 真空仓体,全真空管路系统采用316不锈钢材质,耐腐蚀无污染。
u 自动匹配器,功率无极可调。
u 采用美国德威尔(Dwyer)气体浮子流量计,双路气体控制气体流量,可输入氧气、氩气、氮气、氢气或混合气等气体,气体分配均匀,经济实用。
u HEPA高效过滤,气体返填吹扫,防止二次污染。
u 弧形等离子激发板,等离子激发能力更强。
u 分体式设计,便于手套箱内使用。
u 安全保护,仓门打开,自动关闭电源。
三、技术参数
型号 | VGB3 | VGB3Plus |
舱体尺寸 | D178xΦ150mm | D178xΦ150mm |
舱体容积 | 3L | 3L |
射频电源 | 40KHz | 13.56MHz |
匹配器 | 自动匹配 | 自动匹配 |
激发方式 | 电容式 | 电容式 |
射频功率 | 10-300W可调 | 10-150W可调 |
气体控制 | 双浮子流量计(标配) | |
有效处理尺寸 | L200xW155mm | |
时间设定 | 1-99分59秒 | |
真空泵 | 抽速4-8m3/h | |
气体稳定时间 | 1分钟 | |
真空度 | 100pa以内 | |
电源 | AC220V 50-60Hz |
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