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RELATED ARTICLESv 产品概述:系统主要由蒸发室、主抽过渡管路、旋转基片架、光加热系统、电子枪及电源、石英晶体振荡膜厚监控仪、工作气路、抽气系统、控制系统、安装机台等部分组成
v 设备用途:本系统配有一套电子枪及电源,可满足在Al,Ni,Ag,Pt,Pd,Mo,Cr和Ti等多种金属和介质膜基片上均匀沉积多层膜的需要
v 真空室尺寸:定制
v 极限真空度:≤6.0E-5Pa
v 沉积源:6个40cc坩埚
v 温度:300℃
v 电控描述:全自动
v 工艺:片内膜厚均匀性:≤±3%
v 特色参数:样品尺寸及数量可定制,工件架有拱形基片架和行星形基片架