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v 设备组成:有机/金属源蒸发沉积室、真空排气系统;真空测量系统;蒸发源;样品加热控温;电控系统;配气系统等部分组成
v 样品尺寸:8inch
v 沉积源/真空度:根据用户定制
v 控制系统:手动、全自动