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v 扫描量程:≤10 mm
v 横向分辨率:
0.38 um minimum (Sparrow criterion)
0.13 um (with AcuityXR)
v 垂直分辨率:<0.01 nm
v 台阶高度重复性:<0.75% <0.125% 1 sigma repeatability
v 扫描速度:122 um/sec (with laser reference)
v 样品反射率范围:0.05% to 99%
v 样品尺寸:350 mm * 304 mm x 304 mm (H x D * W) ;249 mm H 自动样品台
v 样品重量:45 kg (77 kg without standard stage)
v XY 品台:300 mm 自动样品台
v Z 轴聚焦:249(350 mm 不带自动台)
v 光源:双LED光源
v 物镜:
Parfocal: 2.5X, 5x, 10X, 20X, 50X,100X, 115X
LWD: 1X, 2X, 5X,10X
TTM: 2x, 5X, 10x, 20X: Bright Field: 10X
Single-objective adapter; Optional motorized five-position turret
v 放大器:0.55X,0.75X,1X,1.5X, 2X auto-sensing modules
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