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光学轮廓仪

简要描述:v测量模式:PSl,USl,VSl,选配的Filmv扫描量程:≤10mmv横向分辨率:0

基础信息

产品型号

厂商性质

代理商

更新时间

2024-10-22

浏览次数

115
详细介绍

v 测量模式:PSl, USl, VSl, 选配的 Film

v 扫描量程:10 mm

v 横向分辨率:

0.38 um minimum (Sparrow criterion)

0.13 um (with AcuityXR)

v 垂直分辨率:<0.01 nm

v 台阶高度重复性:<0.75%   <0.125% 1 sigma repeatability

v 扫描速度:122 um/sec (with laser reference)

v 样品反射率范围:0.05% to 99%

v 样品尺寸:350 mm * 304 mm x 304 mm (H x D * W) 249 mm H 自动样品台

v 样品重量:45 kg (77 kg without standard stage)

v XY 品台:300 mm 自动样品台

v Z 轴聚焦:249(350 mm 不带自动台)

v 光源:双LED光源

v 物镜:

Parfocal: 2.5X, 5x, 10X, 20X, 50X,100X, 115X

LWD: 1X, 2X, 5X10X

TTM: 2x, 5X, 10x, 20X: Bright Field: 10X

Single-objective adapter; Optional motorized five-position turret

v 放大器:0.55X0.75X1X1.5X, 2X auto-sensing modules


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