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探针式轮廓仪/台阶仪

简要描述:v测量功能:二维表面轮廓测量/可选三维测量v样品视景:可选放大倍率

基础信息

产品型号

厂商性质

代理商

更新时间

2024-10-22

浏览次数

95
详细介绍

v 测量功能:二维表面轮廓测量 /可选三维测量

v 样品视景:可选放大倍率,1 to 4mm FOV

v 探针压力:使用LIS 3 传感器 115mg

v 低作用力:使用N-Lite+低作用力传感器: 0.0315mg

v 探针曲率半径可选范围: 50nm25 um

v 高径比(HAR)针尖: 10um x 2um200um x 20um   可按客户要求定制针尖

v 样品X/Y载物台:

手动X-Y平移:100mm (4英寸)

机动X-Y平移:150mm (6 英寸)

v 样品旋转台:手动,360° 旋转    机动,360°旋转

v 扫描长度范围:55mm(2英寸)

v 每次扫描数据点:最多可达120.000数据点

v 样品厚度:50mm(2英寸)

v 晶圆尺寸:200mm(8英寸)

v 台阶高度重现性:<4A1sigma1um台阶上

v 垂直范围:1mm(0.039英寸)

v 垂直分辨率:1A (6.55um垂直范围下)


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