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v 样品视景:可选放大倍率,1 to 4mm FOV
v 探针压力:使用LIS 3 传感器 1至15mg
v 低作用力:使用N-Lite+低作用力传感器: 0.03至15mg
v 探针曲率半径可选范围: 50nm至25 um
v 高径比(HAR)针尖: 10um x 2um和200um x 20um 可按客户要求定制针尖
v 样品X/Y载物台:
手动X-Y平移:100mm (4英寸)
机动X-Y平移:150mm (6 英寸)
v 样品旋转台:手动,360° 旋转 机动,360°旋转
v 扫描长度范围:55mm(2英寸)
v 每次扫描数据点:最多可达120.000数据点
v 样品厚度:50mm(2英寸)
v 晶圆尺寸:200mm(8英寸)
v 台阶高度重现性:<4A,1sigma在1um台阶上
v 垂直范围:1mm(0.039英寸)
v 垂直分辨率:1A (6.55um垂直范围下)