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v 3 种可升级的频率选件:1 MHz 至 500 MHz/1 GHz/3 GHz
v ±0.65% 基本准确度和 120 mΩ 至 52 kΩ 阻抗范围
v 测量参数:|Z|、|Y|、θ、R、X、G、B、L、C、D、Q、|Γ|、Γx、Γy、θΓ、Vac、Iac、Vdc1、Idc1(1. 需要选件 001)
v 内置直流偏置(选件 001):0 V 至 ±40 V,0 A 至 ±100 mA
v 数据分析功能:等效电路分析、极限线测试
v 介电/磁性材料测量(选件 002):|εr|、εr'、εr''、tanδ(ε)、|μr|、μr'、μr''、tanδ(μ)
v 提供温度特征测量(选件 007)和可靠的晶圆上测量(选件 010)
v 提供温度特征分析功能,并能够直接得到介电常数和导磁率的读数
v 探头台连接套件(选件 010)可以在高达 3 GHz 的频率范围内提供准确的晶圆上或微型元器件阻抗测量解决方案