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v 样品尺寸 : 400 mm x 400 mm
v 最小样品尺寸 : 0.5 mm x 0.5 mm
v 在 2 秒内获得 140 万个数据点
v Warpage 分辨率 <1 µm
v 每秒加热 3.5ºC 摄氏度
v 红外线加热和对流冷却来控制温度
v 高分辨率测量小型样品
v XY 轴应变 STRAIN 和热膨胀系数CTE 计算
v 支持从室温到 300ºC 以下的回流炉温度模拟,以及-50ºC 至 300ºC 度可靠性测试选项
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