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1.Canon FPA5000 ES3扫描式光刻机
光源波长248nm
分辨率优于0.18µm
主要用于6寸、8寸及12寸生产线
广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域
2.产品详情
主要技术指标
分辨率0.18µm
N.A.0.6-0.73
曝光光源248nm
倍率4:1
曝光现场26mm*33mm
对准精度35nm
3.更多服务
提供中英文软件及6"、 8"、12"设备硅片改造
常年提供所有备件、耗材