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1.Canon FPA3000 EX4步进式光刻机
光源波长248nm
分辨率优于0.25µm
主要用于主要用于4寸、6寸、8寸生产线
广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域
2.产品详情
主要技术指标
分辨率0.25µm
N.A.0.4~0.6
曝光光源248nm
倍率5:1
曝光现场22mm*22 mm
对准精度60nm
3.更多服务
提供中英文软件及4"、6"、8" 设备硅片改造
常年提供所有备件、耗材