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步进式Stepper光刻机

简要描述:

基础信息

产品型号

厂商性质

代理商

更新时间

2024-10-22

浏览次数

72
详细介绍

v 解像力:350nm

v 投影倍率:1:5

v 市场尺寸:20mm*20mm(5inch)/ 22mm*22mm(6inch)

v 光源:i-Line 365nm

v 掩膜版尺寸:5inch/6inch(可选)

v 晶圆尺寸:50mm2inch/75mm3inch/100mm4inch/150mm6inch/200mm8inch)(可选)

v 套刻精度:40nm

v 设备尺寸:(W1900*D2600*H2450mm


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