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v 电流测量精度≤0.1 fA,最小可测量电流≤20 fA
v 电流测量量程≥0.1 A,输出功率≥2 W
v 电流测量精度10 fA时,电流表的最短采样时间间隔100 μs
v I-V特性测试及C-V特性测试切换时,无须更改电路
v 实现不同频率交流阻抗测量(C-V、C-f、C-t) 的测量,频率范围1 kHz-5 MHz,最小频率步进≤1 mHz
v 电容测量精度≤5 fF (1 MHz)、≤10 fF(5 MHz)
v 电容测量范围5 fF-1 nF,电压0至±25V,步进≤1 mV
v 具有脉冲输出及采集模块,脉冲输出电压峰值10 V
v 脉冲采样采样率≥200 MSa/s,最小采样时间5 ns
v 具有瞬态波形捕获模式
v 具有任意波形发生器,支持多电平脉冲波形,可编程分辨率10 ns