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聚焦离子束系统FIB

简要描述:vFIB是将离子源产生的离子束经过离子枪加速

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更新时间

2024-10-22

浏览次数

61
详细介绍

v FIB是将离子源产生的离子束经过离子枪加速聚焦后作用于样品表面,应用于:产生二次电子信号取得电子像,此功能与SEM相似,用强电流离子束对表面原子进行剥离,以完成微、纳米级表面形貌加工,通常是以物理溅射的方式搭配化学气体反应,有选择性的剥除金属,氧化硅层或沉积金属层

v 芯片领域应用:IC芯片电路修改,Cross-Section 截面分析,FIB透射电镜样品制备,材料鉴定

v 液态金属离子源:分辨率3nm@30kv   120nm@1kv

v 检测器:Inlens SEInlens EsBVPSE(可变气压二次电子探测器)SESI(二次电子二次离子探测器)、aSTEM(扫描透射电子探测器)、aBSD(背散射探测器)


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