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v 产品特点:
Ø 光滑侧壁工艺
Ø 高刻蚀速率腔刻蚀
Ø 高深宽比工艺
Ø 锥形通孔刻蚀
Ø 机械或静电压盘,加热内衬
Ø 延长了两次清洗间的平均时间间隔(MTBC)环形激光陀螺反射镜
Ø X射线光学系统
Ø 红外(IR)传感器
Ø II-VI族材料,通信滤波器
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