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v 产品类型:有立式单腔,双腔晶圆甩干机(2-12寸),水平多工位甩干机(2-12寸)
v 单次甩干数量1-25块
v 作业程序:冲洗、烘干的步骤顺序、时间、 转速等可分段编辑,(可设 recipe 为 10 个)
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