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CIF推出全新一代实验室型等离子体清洗设备,传统等离子体清洗设备设计理念,可中试生产、模拟生产条件,几乎具备等离子体清洗设备所有的功能。采用顶置真空仓,上开盖下压式铰链开关方式,上置式360度自由取放样品托盘设计,具有较大的腔体尺寸和有效样品处理面积,使用成本低,性价比高,处理快速高效,特别适合于大学,科研院所和光电企业实验室小批量中试生产。
二、产品特点
u 7寸彩色触摸屏互动操作界面,图形化用户操作界面显示,自动监测工艺参数状态,20个配方程序,可存储、输出、追溯工艺数据,机器运行、停止提示。
u PLC工控机控制整个清洗过程,手动、自动两种工作模式。
u 石英真空仓,真空管路系统采用316不锈钢材质,耐腐蚀无污染。
u 采用质量流量计实现对气体输入精准控制,改变传统浮子流量计控制气体流量不准确问题。
u HEPA高效过滤,气体返填吹扫,防止二次污染。
u 60度倾角操作界面设计,符合人体功能学,操作方便,界面友好。
u 顶置真空仓,上开盖设计,下压式铰链开关方式,开关盖方便。
u 采用花洒式多孔进气方式,改变传统等离子清洗机单孔进气不均匀问题。
u 上置式360度自由水平取放样品托盘设计,符合人体功能学,操作更方便。
u 有效清洗面积大,可清洗直径8寸硅片。
u 可处理不同几何形状、表面不同粗糙程度的金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等样品,进行清洗和改性。
u 安全保护,仓门打开,自动关闭电源。
三、技术参数
型号 | CPC-G | CPC-G plus | CPC-12 | CPC-12plus |
舱体尺寸 | H120xΦ270mm | H120xΦ270mm | H120xΦ370mm | H120xΦ370mm |
舱体容积 | 6.8L | 6.8L | 12.8L | 12.8L |
射频电源 | 40KHz | 13.56MHz | 40KHz | 13.56MHz |
匹配器 | 自动匹配 | 自动匹配 | 自动匹配 | 自动匹配 |
激发方式 | 电容式 | 电容式 | 电容式 | 电容式 |
射频功率 | 10-300W可调 | 10-150W可调 | 10-600W可调 | 10-300W可调 |
处理尺寸 | Φ270mm 圆盘 | Φ370mm圆盘 | ||
产品尺寸 | L525xW425xH345mm | L618xW520xH465mm | ||
包装尺寸 | L645xW540xH560mm | L750xW640xH570mm | ||
气体控制 | 质量流量计(MFC)(标配单路,可选双路) | |||
时间设定 | 1-99分59秒 | |||
真空泵 | 抽速4-8m3/h | |||
气体稳定时间 | 1分钟 | |||
真空度 | 100pa以内 | |||
电源 | AC220V 50-60Hz |
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