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v 电极的适用温度范围宽,-150°C至400°C
v ICP源尺寸为65mm,180mm,300mm
v 应用方向:
Ø III-V族材料的刻蚀工艺
Ø 固体激光器InP刻蚀
Ø VCSEL GaAs/AlGaAs刻蚀
Ø 射频器件低损伤GaN刻蚀
Ø 硅 Bosch和超低温刻蚀工艺
Ø 类金刚石(DLC)沉积
Ø 二氧化硅和石英刻蚀
Ø 用特殊配置的PlasmaPro FA设备进行失效分析的干法刻蚀解剖工艺,可处理封装好的芯片、 裸晶片以及200mm晶圆
Ø 沉积高质量的PECVD氮化硅和二氧化硅薄膜,用于光子学、电介质层、钝化等诸多其它用途
Ø 用于高亮度LED生产的硬掩模沉积和刻蚀