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Nikon S308F扫描式光刻机

简要描述:NikonS308F1

基础信息

产品型号

厂商性质

代理商

更新时间

2024-10-22

浏览次数

54
详细介绍

Nikon S308F

1.Nikon S308F扫描式光刻机

光源波长193nm

分辨率优于0.07µm

主要用于4寸、6寸、8寸及12寸生产线

广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域

2.产品详情

主要技术指标

分辨率0.07µm

N.A.0.92

曝光光源193nm

倍率4:1

曝光现场26mm*33mm

对准精度12nm

3.更多服务

提供中英文软件及4"、6"、8"、12"设备硅片改造

常年提供所有备件、耗材



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