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Nikon S207D扫描式光刻机

简要描述:NikonS207D1

基础信息

产品型号

厂商性质

代理商

更新时间

2024-10-22

浏览次数

42
详细介绍

Nikon S207D

1.Nikon S207D扫描式光刻机

光源波长248nm

分辨率优于0.11µm

主要用于8寸及12寸生产线

广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域

2.产品详情

主要技术指标

分辨率0.11µm

N.A.0.82

曝光光源248nm

倍率4:1

曝光现场26mm*33mm

对准精度20nm

3.更多服务

提供中英文软件及8"、12"设备硅片改造

常年提供所有备件、耗材



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