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1.Nikon S205C扫描式光刻机
光源波长248nm
分辨率优于0.15µm
主要用于8寸及12寸生产线
广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域
2.产品详情
主要技术指标
分辨率0.15µm
N.A.0.75
曝光光源248nm
倍率4:1
曝光现场25mm*33mm
对准精度
LSA:35nm
FIA:40nm
3.更多服务
提供中英文软件及8"、12"设备硅片改造
常年提供所有备件、耗材