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Nikon NSR 2205i14E步进式光刻机

简要描述:NikonNSR2205i14E1.NikonNSR2205i14E步进式光刻机光源波长365nm分辨率优于0.35µm主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生产线

基础信息

产品型号

厂商性质

代理商

更新时间

2024-10-22

浏览次数

59
详细介绍

Nikon NSR 2205i14E

1.Nikon NSR 2205i14E步进式光刻机

光源波长365nm

分辨率优于0.35µm

主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生产线,

广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域

2.产品详情

主要技术指标

分辨率0.35µm

N.A.0.63

曝光光源365nm

倍率5:1

曝光现场22mm*22mm

对准精度

LSA:55nm

FIA:65nm


3.更多服务

提供中英文软件及2"、4"、6"、8"设备硅片改造

常年提供所有备件、耗材



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