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Nikon NSR 2005i9C步进式光刻机

简要描述:NikonNSR2005i9C1

基础信息

产品型号

厂商性质

代理商

更新时间

2024-10-22

浏览次数

59
详细介绍

Nikon NSR 2005i9C

1.Nikon NSR 2005i9C步进式光刻机

光源波长365nm

分辨率优于0.45µm

用于2寸、4寸、6寸、8寸生产线

广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域

2.产品详情

主要技术指标

分辨率0.45µm

N.A.0.57

曝光光源365nm

倍率5:1

曝光现场20mm*20mm

对准精度

LSA:120nm

FIA:130nm


3.更多服务

提供中英文软件及2"、4"、6"、8"设备硅片改造

常年提供所有备件、耗材


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