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v 样品尺寸:基于所选择的平台而定,圆形样品支持300mm(12 inch),或方形尺寸730x920mm
v 测量范围:
Ø V/I 电阻: 1.0m - 3.0M Ω
Ø 方阻: 5.0m - 10.0M Ω/sq
Ø 电阻率: 1.0μ - 300.0k Ω.cm
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