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四探针电阻率测试仪

简要描述:v应用:半导体材料、太阳能电池材料(硅、多晶硅、碳化硅等)

基础信息

产品型号

厂商性质

代理商

更新时间

2024-10-22

浏览次数

65
详细介绍

v 应用:半导体材料、太阳能电池材料(硅、多晶硅、碳化硅等),新材料、功能材料(碳纳米管、DLC、石墨烯、Ag纳米线等)、导电薄膜(金属、离子等),扩散层,硅相关外延材料,离子注入样品

v 样品尺寸:基于所选择的平台而定,圆形样品支持300mm(12 inch),或方形尺寸730x920mm

v 测量范围:

Ø V/I 电阻: 1.0m - 3.0M Ω

Ø 方阻: 5.0m - 10.0M Ω/sq

Ø 电阻率: 1.0μ - 300.0k Ω.cm




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