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实验型显影机

简要描述:v全封闭式桌面显影机

基础信息

产品型号

厂商性质

代理商

更新时间

2024-10-22

浏览次数

58
详细介绍

v 全封闭式桌面显影机主要用于半导体制造中晶片的显影工艺,设备配有一路显影和一路水、一路气吹功能,并且喷嘴位置可程控移动,实现自动显影和清洗作业

v 支持wafer尺寸:碎片至200mm(可根据客户需求定制四管路或更大基片)

v 单步工艺及多步工艺可选,内置100组可编辑程序

v 转速分辨率:±1 RPM

v 旋涂速度:20-3000rpm(空载)

v 旋涂加速度:10-10,000rpm/sec(空载)

v 工艺时间设定:0-3,000sec/step,时间设置精度: 0.1sec


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