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实验型匀胶机

简要描述:v适用基片尺寸:小于1cm小碎片及到8寸标准晶圆

基础信息

产品型号

厂商性质

代理商

更新时间

2024-10-22

浏览次数

95
详细介绍

v 适用基片尺寸:小于1cm小碎片及到8寸标准晶圆,非标准基片可定制载物盘

v 自动滴胶功能

v 支持去边、背洗、匀胶、显影、清洗、控温等功能模块个性化定制

v 转速范围:20-10000rpm

v 转速分辨率:±1rpm

v 加速度可调范围:20-50000rpm/s

v 单步时长:3000s

v 时间分辨率:0.1s


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